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发布时间:2021/7/9 浏览:632次
功率半导体是制造业核心基础器件,是支撑经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业,随着汽车电动化、智能化、网联化等发展,汽车电子迎来结构性变革机会。株洲中车时代电气是中国中车旗下企业,产业涉及高铁、机车、城轨、轨道工程机械、通信信号、大功率半导体、传感器、海工装备、新能源汽车、环保、通用变频器等多个领域。一直以来,NASH的品牌和专业服务在株洲中车时代电气得到了深度认可。从IGBT,SiC碳化硅,到汽车组件配套项目,所有的工艺真空全部采用了NASH真空泵系统,不但性能优越,而且安全可靠,确保365天连续无休运行。
作为新能源汽车及其他工业领域重要的基础性产品,功率半导体具有安全、环保、高效、低耗等优势。半导体行业中的蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀,真空吸附,测试设备,机械手,自动化真空清扫等键合工序里所需用真空为生产真空(中高真空);清扫真空(粗真空);工艺真空(粗真空)。部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零,以保护工件免受污染。工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送,此类应用中液环真空泵和多级离心风机是非常关键的生产辅助设备。
半导体行业的工艺特性,要求系统绝对无油,对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。 作为英格索兰压力与真空事业部旗下核心品牌,NASH液环真空泵安全可靠,100%无油,完全满足半导体行业的工艺真空要求。株洲中车时代电气拥有一流的功率半导体生产线,形成从设计、制造、封装与测试等全套能力。其中总投资35亿元的株洲中车时代电气汽车组件配套建设项目,选用了2套NASH 2BW液环真空系统,目前设备安装调试完毕,机组运行稳定。该项目全部产能将用于新能源汽车用基材及组件生产,整体提升了时代电气功率半导体工艺平台及生产制造能力,满足新能源汽车领域巨大市场需求,进一步做大做强做优功率半导体产业。
我国每年约消耗全球40%的功率半导体器件,是全球最大的功率半导体需求国。除在新能源汽车领域外,功率半导体产品还可以为智能电网、新能源发电、智能家电等工业领域带来新的发展动力。随着高铁技术自主化进程,尤其芯片和半导体的国产化,未来NASH将持续跟进,提供创新的产品和服务,助力半导体产业快速稳健发展。
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